Ez egyfajta desztilláció nagy vákuumkörnyezetben, az anyag molekuláris mozgásának szabad útjában, a hőérzékeny anyagban vagy a magas forráspontú anyag desztillációs és tisztítási folyamatában végezték el. A rövid út desztillációt főként vegyi, gyógyszerészeti, petrolkémiai, fűszer-, műanyag-, olaj- és egyéb mezők.